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洛阳中硅高科技有限公司的多晶硅材料制备技术国家工程实验室，科研人员正在做实验。本报资料图片
河南日报记者 尹江勇
一粒小小的传感器，可赋能万物，感知大千世界；一枚晶莹的半导体，可转换光电，导向无尽未来。智能传感器和半导体产业，作为新一代信息技术的核心，已然成为科技竞争的主战场。省委、省政府着眼构建现代化产业体系，将智能传感器和半导体产业列为全省重点打造的千亿级产业链。
汉威科技、仕佳光子分别在传感器、激光器芯片领域牵头实施2项国家重点研发计划；龙门实验室与中硅高科、麦斯克电子等企业联合攻克了电子级多晶硅提纯关键核心技术；平煤神马集团碳化硅半导体实验室成功生长出全省第一块8英寸碳化硅单晶晶锭……去年以来，我省高位推动智能传感器和半导体产业链，令人振奋的创新成果不断涌现。
省政府办公厅印发《河南省培育壮大智能传感器和半导体产业链行动方案（2023—2025年）》；河南省电子信息产业联盟正式揭牌；成功举办2023世界传感器大会；河南省传感器行业协会建设的全国传感器产业领域最大的互联网公共服务平台累计交易量突破20亿元……我省抢抓机遇，围绕补链延链强链整合优势，持续加大产业链培育力度，正努力把河南智能传感器和半导体打造成为在全国有影响力的标志性产业。
创新驱动
企业主体“龙腾虎跃”
阳春三月，万物生机勃发。在洛阳中硅高科技有限公司的硅基材料制备技术国家工程研究中心实验平台，十几个攻关组组建了近20个研发团队，每个团队紧盯一个产品，研究人员正埋头进行硅基电子材料新产品研发。
目前国家在集成电路领域需要的硅基材料有40余种。“我们要在2025年前在产业方面实现30种国产供应，其余的要在实验室实现基础突破。”中硅高科副董事长、党委副书记、总经理万烨表示，企业作为河南省电子化学品产业链和洛阳市集成电路和智能传感器产业链链主单位，将加大科研投入力度，支撑洛阳产业链条冲刺百亿级目标。
类似的企业发展场景在我省智能传感器和半导体产业链条上正不断呈现：去年10月17日，位于平顶山市的河南中宜创芯发展有限公司年产2000吨电子级碳化硅粉体项目一期试生产成功，标志着河南电子级碳化硅粉体开始进入批量生产阶段，填补了河南第三代半导体产业领域空白。
今年年初，作为国内气体传感器行业龙头企业，汉威科技集团发布了JT-KWA系列激光家用可燃气体探测器新品，意味着汉威科技集团已实现从激光器到传感器模组再到可燃气体探测器的全链条自主可控，引领激光气体探测技术从工业走向民用领域，并形成了行业领先的产品优势。
“2023年以来，按照省委、省政府培育推进产业链工作统一要求，我省聚焦提升产业链基础高级化和现代化水平，紧密协作、齐抓共管，推动产业生态扩量提质，产业链自主创新能力和核心竞争力正加速提升。”省科技厅党组书记、厅长张锐介绍，郑州、洛阳两个产业核心区创新发展能力和集聚效应显著增强，三个高能级平台稳步推进，N个特色产业基地加紧建设，将智能传感器和半导体产业打造成为全省新兴领域标志性产业的信心进一步增强。
围绕关键环节，强化科技攻关。河南省日立信股份有限公司研制出基于硅基气敏薄膜芯片的MEMS氢气、甲醛及硫化氢传感器，已成功在核电、新能源汽车、智能家居等重点领域应用验证；郑州磨料磨具磨削研究所、河南飞孟金刚石公司承担的第三代化合物半导体用材料产业项目通过了国家验收；平煤神马集团碳化硅半导体实验室生长出全省第一块8英寸碳化硅单晶晶锭，填补了我省相关领域空白。
聚焦产业需求，创新服务发力。省科技厅围绕我省7大万亿级先进制造业集群和28个重点产业链一体化布局创新链，全面启动科技服务综合体工作，为创新主体提供专业、精准、高效的创新服务。在智能传感器和半导体方面，实施2023年度重大科技项目12项，省财政合计支持2580万元，涵盖材料、芯片、传感器、装备制造、应用场景示范等方向，为提升产业链各关键环节核心竞争力提供有力的科技支撑。
全链提升
“一谷多园”持续优化
沿郑州高新区科学大道往西，就能看到总投资60亿元的中国（郑州）智能传感谷启动区，这里已集聚传感器产业链核心及关联企业3000余家，综合实力居全国传感器十大园区第四位。
智能传感谷是我省打造智能传感产业集群的核心承载平台。“作为传感谷建设的先头部队，启动区内的产业布局完全按照产业链发展要素而建，规划有创业孵化大厦、中试基地、产学研基地、企业总部基地、产业集聚区及飞地孵化基地，打造国内一流、国际先进水平的智能传感物联新高地。”启动区项目负责人刘鹏告诉记者。
省委、省政府高度重视智能传感器产业发展，将其列为河南省重点培育的28条产业链之一。根据2023中国民营经济发展论坛发布的《民营经济驱动产业集群高质量发展研究暨2023中国百强产业集群》报告，郑州智能传感器产业集群成功入选“百强”，位列河南第一。经过多年发展，智能传感谷的产业呈现加速集聚态势，形成了气体、气象、农业、电力（网）等多门类传感器产业链及批量生产能力。
截至目前，智能传感谷已拥有国家级专精特新“小巨人”企业41家。其中汉威电子、新天科技、光力科技等6家智能传感器上市企业，产业规模已由50亿元壮大至300亿元，年均增长45%。气体传感器国内市场占有率达75%，气体检测仪表国内市场占有率达15%，居全国首位。智慧水务、智慧环保、安全监测等整体解决方案成为行业标杆。
根据规划，智能传感谷将重点围绕智能传感器材料、智能传感器系统、智能传感器终端“三个产业集群”，发展环境传感器、智能终端传感器、汽车传感器“三个特色产业链”，形成千亿产业带。到2025年，智能传感谷将打造千亿级产业集群，郑州市智能传感器产业相关规模达到1000亿元，建设国家级技术中心3个以上，培育超100家高新技术企业。
与此同时，全省加速布局智能传感器和半导体产业链：洛阳市围绕智能传感器、电子特气、硅基电子功能材料等重点细分领域，强化关键核心技术攻关，推动重点项目建设，加快打造半导体材料制造基地；新乡市做大、做强、做优特色电子气体、芯片制造和芯片封测产业，新乡高新区半导体数字产业园项目正在规划建设中；鹤壁市项目建设不断加快，仕佳光子产业链核心环节优势地位得到加强；南阳市重点在红外传感器、光敏电阻等领域发力，并向气体、火焰探测等工业领域应用拓展，高标准建设社旗县传感器高科技产业园区项目；郑州航空港区落地惠科、合晶硅片、龙芯中原总部等重大项目，与超聚变、比亚迪等终端项目形成产业链闭环，打造泛半导体全产业链生态群。
俯瞰中原大地，以郑州的智能传感谷为核心，智能传感器和半导体产业链已辐射四面八方。开封流量仪表、洛阳气象监测、新乡MEMS制造、鹤壁光电传感……各地逐步形成了各具特色的产业园区，全省“一谷多园”的产业发展格局正在持续优化。
平台赋能
创新生态“枝繁叶茂”
进入我省搭建的“智能传感产业生态平台”，郑州一家传感器企业的研发人员上传需求后，很快就在平台上匹配到深圳一家企业，找到了研发急需的5G模组。“有了平台支撑，可以大大加快我们企业的研发速度，并降低成本。”企业负责人王斌兴奋地说。
据介绍，郑州智能传感谷启动区打造了行业首个产业大数据平台，汇聚产业全要素数据，组织产业上下游优质资源，构建起线上“传感生态圈”，如今已有1000余家企业入驻，涵盖3万多个产品类别，几乎可以满足企业所有需求，助力传感器产业链上下游的协同发展。
“为了构建良好的智能传感器和半导体产业创新生态圈，我省全力提升创新能级，高标准建设了墨子实验室、智能传感器产业研究院、智能传感器中试基地等省级创新平台，加快建设省智能传感器研发服务平台，为技术创新、人才集聚、产业升级提供重要支撑。”省科技厅党组成员、副厅长陶曼晞介绍，2023年以来，我省在平台建设方面力度不断增强——
去年7月10日，墨子实验室正式揭牌，聚焦半导体光芯片全产业链布局研发方向，加快关键核心技术攻关。10月30日，省工业和信息化厅牵头成立河南省电子信息产业联盟，将墨子实验室吸纳为联盟理事单位，推动墨子实验室与省内电子信息企业资源共享、协同合作。
2023年9月1日，智能传感器MEMS研发服务平台在郑州高新区开工建设，项目总投资约15亿元，力争2024年9月具备部分投产条件，2025年年底达到交付使用条件。届时，将实现“基础研究—技术攻关—技术应用—成果产业化”全过程无缝衔接，推动智能传感器产业发展迈向规模化、特色化、差异化、高端化，建设具有国际影响力的智能传感器产业生态圈。
在集成电路领域，公共研发平台和中试平台建设工作也在快马加鞭。去年10月8日，省委专题会议研究同意实施集成电路中试平台（公共研发平台）建设项目。去年11月28日，集成电路中试平台项目在郑东新区经济发展局完成了项目备案。目前，中试平台建设工作正在有序快速推进。
令人振奋的是，从省智能传感器行业协会传来消息，“河南省智能传感产业互联网平台”并购整合了中国传感器网、传感器专家网、传感器咨询网等国内有影响力的产业平台，已经成为全国传感器产业领域最大的互联网公共服务平台，平台累计交易量突破20亿元。
“通过平台汇聚产业数据，组织上下游优质资源，构建产业大数据和产业服务，我们可以实现从人才到研发、研发到产品、产品到场景、场景到市场的深度融合。”河南省智能传感器行业协会秘书长朱宁表示，未来我省将进一步发挥产业创新生态平台作用，畅通“研发设计—产品—场景—市场”全要素对接渠道，为智能传感器和半导体产业立足河南、走向全国提供全链条服务。
产业链名片
●智能传感器和半导体产业是新一代信息技术的核心。我省传感器领域已经形成了气体、气象、农业、电力（网）、环境检测等多门类产业链及批量生产能力，涵盖了环境、工业、农业、电力等诸多领域；半导体方面也初步形成了关键材料、芯片设计、器件制造与封测等较为完整的产业链，并在关键材料环节，硅片、湿化学品、电子特气、超纯铜等方面均取得重大突破。
●截至目前，我省在相关产业细分领域优势明显，汉威科技的气体传感器、森霸传感的热释电红外传感器、日立信的六氟化硫传感器国内市场占有率均居第一，光力科技的瓦斯抽采和气体云监测系统、新天科技的智能水表国内领先，半导体封测设备核心传感器已实现技术突破，压力、声学、激光、流量等传感器供给能力得到了明显增强。
●全省现有智能传感器和半导体高新技术企业260余家，其中产业链内上市公司已超过10家，拥有汉威科技、日立信、仕佳光子、麦斯克、多氟多等一批行业龙头企业和单项冠军企业。
大事记
●2023年4月
光力瑞弘半导体智能制造产业基地项目（一期）建成投产，划片机实现稳定供货。
●2023年6月1日
第一次省智能传感器和半导体产业链培育工作会议召开，工作专班成立，省委常委、宣传部长王战营任产业链链长。
●2023年6月16日
省委常委、宣传部长王战营带队赴郑州高新区调研智能传感器和半导体产业发展情况。
●2023年7月6日
第二次智能传感器和半导体产业链工作专班推进会召开，审议修改《河南省培育壮大智能传感器和半导体产业链行动方案》，安排部署下一步工作。
●2023年7月10日
墨子实验室正式揭牌成立。省委书记楼阳生揭牌，省长王凯出席。
●2023年8月
麦斯克电子年产360万片8英寸硅外延片正式开工建设；中硅高科电子信息材料转型升级项目建成调试。
●2023年9月1日
智能传感器MEMS研发服务平台在郑州高新区开工建设。
●2023年9月20日
郑州合晶硅材料有限公司12英寸大硅片项目开工建设。
●2023年10月
省政府办公厅印发《河南省培育壮大智能传感器和半导体产业链行动方案（2023—2025年）》。
●2023年10月28日
超算互联网核心节点建设工程项目签约暨开工仪式在郑州举行。省委书记楼阳生讲话，省长王凯出席。
●2023年10月30日
河南省电子信息产业联盟正式揭牌。
●2023年10月31日
河南省智能传感器和半导体产业链工作推进会暨产业金融合作对接会在中国（郑州）智能传感谷启动区召开。
●2023年11月5日至7日
2023世界传感器大会在郑州召开。
●2023年12月6日至8日
经国务院批准，2023世界5G大会在郑州成功举办。
河南日报记者 尹江勇 整理